需指出的是，济南该技术已申请知识产权保护（PCT专利，PCT/CN2020/120431。

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其中，新颜缩小的等效氧化层厚度、缩短的沟道长度、提高MoS2薄膜质量和开发与MoS2的理想接触对进一步提高性能至关重要。该方法通过化学气相沉积生长的大面积石墨烯和MoS2薄膜，济南在2英寸的晶片上制备侧壁晶体管。

侧壁结构有效利用了石墨烯的天然超薄厚度，开元实现了晶圆级生产。     其中，隧道额外的铝（Al）层屏蔽了来自石墨烯上表面的垂直电场，使有效的栅极电场来自石墨烯的边缘，只能影响部分垂直的MoS2沟道。